半导体制造常用电子气体分类汇总
在半导体制造过程中,不同工艺环节会使用到种类繁多的电子气体。依据其用途可将这些气体大致划分为以下几类:
在半导体制造过程中,不同工艺环节会使用到种类繁多的电子气体。依据其用途可将这些气体大致划分为以下几类:
光纤上游产业链涵盖光纤预制棒、光纤涂料、光纤原材料三大核心环节,其中预制棒技术壁垒最高,占产业链总成本的60%-70%。中游为光纤拉丝与光缆制造,下游应用于通信、数据中心、海洋工程等领域。
电子特气是半导体制造中用于掺杂、刻蚀、沉积、清洗等核心工艺的高纯度特种气体,是决定芯片性能、良率的关键基础材料之一,被誉为半导体制造的"血液"。这些气体的纯度要求极高,多数需达到"5个9"(99.999%)以上,部分先进制程甚至需要"7个9"(99.99999